除气充气真空设备

分子泵高真空系统，带观察窗和加热烘烤装置，

专门用于试件的真空除气除水处理，可以实现自动抽空除气，自动充入工艺气体。

除气充气真空设备

分子泵高真空系统，专门用于试件的真空除气预处理，可以实现自动抽空烘烤除气，可以自动充入工艺气体，可以设定加热工艺曲线。

1. 极限真空度（空载，清洁，冷态条件下）：1×10-5Pa；

2. 炉型：双室（两室独立）、卧式、前开门；

3. 工作空间尺寸：（单室）Φ180×450 mm；

4. 充气压力精度：充气压力×5%；

5. 最高设计温度:    550 ℃；

6. 温控精度：±5℃；

7. 真空系统：无油分子泵系统。

8. 充气露点可控。

六工位/十二工位超高真空排气台

极限真空（空载冷态）：≤ 1×10-9mbar；

接口漏率＜1×10-9 mbar.l/s；

真空管道配管路加热器，管道加热器加热温度可调，最高160℃，控温精度±0.5℃；

系统共有6 工位，每个工位配工件加热罩，加热罩烘烤温度不低于160℃，同时温度偏差小于±0.5℃，温度过冲≤5℃；

主抽泵采用进口的涡轮分子泵；

前级泵采用进口涡旋干泵；

主阀采用进口的电气动闸板阀；

前级阀采用进口的电磁真空挡板阀；

工位阀采用进口 的手动超高真空角阀；

真空测量采用进口的皮拉尼真空计，冷阴极真空规；

质谱仪采用进口质谱仪，并提供质谱仪分析软件1 套，可以显示分压力值，测量质量数0-100amu。

嵌入式工业平板电脑用于客户端操作、参数设置、系统真空度、加热器加热温度；

真空系统的操作具有手动/自动操作功能，手动模式时各阀、泵均在计算机上实现启/停操作，自动模式时可以实现真空系统的自动启动。

分子泵在手动或自动模式均具有真空保护功能，低真空规管未到达设定值不能启动。

真空烘烤储存箱

主要对半导体器件进行高温除气，充气保护及焊接封装的设备。也可以做为真空烘烤箱或真空储存箱。

方形真空室（尺寸可以定制）：

加热箱：300mm×300mm×300mm；

储存箱：300mm×300mm×300mm；

加热箱和储存箱门上可选择安装石英玻璃观察窗，内部可有照明灯；

加热箱加热温度可以调节。